Научно-технический центр тонкопленочных технологий в энергетике (НТЦ) был создан в 2010 году компанией «Хевел» на базе Физико-технического института им А.Ф. Иоффе.

Сейчас здесь так же действует центр коллективного пользования Инновационного центра «Сколково». Оборудование центра позволяет заниматься разработками в области опто- и микроэлектроники, где весьма широко применяются тонкоплёночные технологии.

Одна из возможностей центра – изготовление опытных образцов кремниевых солнечных элементов. О том, как они делаются – в нашем фоторепортаже.

Процесс мойки стекла в специальной установке. 

 

Процесс мойки стекла в специальной установке.

 

Оптический контроль качества мойки

   

Нанесение прозрачного слоя оксида цинка.

  

Установка контроля качества стекла перед нанесением кремниевых слоев.

 

Установка по нанесению аморфного или микрокристаллического кремния. Расход кремния в 200 раз меньше, чем при использовании традиционных технологий нанесения.

   

Горение плазмы в установке по нанесению аморфного кремния.

   

Загрузка подложки перед процессом нанесения аморфного кремния

   

Выгрузка стекла.

   

Контроль качества однородности нанесенных слоев методом элипсометрии.

   

Комплекс установок по нанесению различных полупроводниковых слоев.

   

Комплекс установок по нанесению различных полупроводниковых слоев.

 

Основная кластерная установка комплекса по нанесению различных полупроводниковых слоев

   

Образцы ячеек на разных технологических переделах. Темные однородные пластины – исходные кремниевые пластины. Голубые – после нанесения аморфного и микрокристаллического кремния. Остальные – пластины с контактами.


Please, sign up or sign in to leave a comment.